低压化学气相沉积(Low Pressure CVD)是将气体在反应器内的压力降低到大约133Pa进行沉积的反应。 我们知道,在常压下,气体分子运动速率快于化学反应速率,成膜时会因为反应不彻底面形成孔洞,影响成膜质量。

太阳能光伏板上的灰尘沉积极大地削弱了电池板的工作运行和使用寿命。 在这项研究中,使用计算流体动力学-离散元模型（CFD-DEM）方法研究了太阳能光伏电池板上灰尘沉积的形成和演化过程。

氮化硅薄膜的基本制备方法是：在反应腔室通入适量的反应气体SiH4和NH3,在低温和微波电离环境下经一系列化学反应和等离子体反应,在硅片表面形成氮化硅薄膜。 2.1实验设备选型及改进方案. 实验设备采用梅耶博格的SINAI板式镀膜设备,实验硅片为P型多晶硅片,尺寸为156mm×156mm、厚度200um。 选取经同一制绒、磷扩散、湿法

从单面沉积角度看,LPCVD沉积技术是无方向性的,导致严重绕镀,而PVD技术可实现单面沉积,无绕镀现象； 从原位掺杂角度看,PECVD最高适合原位掺杂,而LPCVD、PVD技术原位掺杂能力较弱,即掺杂难度大、或者掺杂后浓度不达标； 图3 对于多晶硅膜沉积,LPCVD/PECVD/PVD三条线路对比. LPCVD成熟度最高高,但有绕镀、原位掺杂难等难

灰尘堆积会不同程度地降低光伏 (PV) 电池的性能,其程度与沉积密度成正比。这里提出的综合评论对基于实验室的实验实践进行了分类和描述,这些实验实践有兴趣研究灰尘积累对光伏组件或表面的影响,然后无缝分析和解释从评论文献中提取的信息。

光伏电站在运行过程中,组件表面会逐渐沉积灰尘,影响组件对太阳辐射量的接收,从而造成电站发电量损失。 国内外科学家针对灰尘沉积对光伏组件发电效率的影响展开了大量研究。 文献 通过研究发现,灰尘对组件发电效率的影响可达10%～25%。 文献 通过模拟自然灰尘情况,得出积灰密度与光伏发电效率成反比,并给出了输出功率与积

化学气相沉积（CVD）是通过化学反应的方式,利用加热、等离子或光辐射等各 种能源,在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术,是一种通过气体混合的化学反应在基体表面沉积薄膜 的工艺,可应用于

PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积,等离子体是物质分子热运动加剧,相互间的碰撞会导致气体分子产生电离,物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。 据测算,光在硅表面的反射损失率高达35%左右,减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率,有助于

管式PECVD的原理就是通过脉冲射频激发受热的稀薄气体进行辉光放电形成等离子体,通过两片相对应的石墨片加相反的交变电压使等离子在极板间加速撞击气体,运动到硅片表面完成镀膜过程。 三、镀膜的相关介绍. 1、机台照片与工作原理图. 2、等离子体. 所谓等离子体,是指气体在一定条件下受到高能激发,发生电离,部分外层电子脱离原子

原子层沉积 (ALD) 是一种气相沉积技术,能够在相对较低的温度下沉积高质量、均匀和保形的薄膜。 这些优秀的特性可用于应对各种类型的下一代太阳能电池的加工挑战；因此,近年来,用于光伏 (PV) 的 ALD 引起了学术和工业研究的极大兴趣。